Va anuntam cu entuziasm inceputul colaborarii cu CORIAL

Despre CORIAL...
CORIAL este o companie franceza care proiectează și produce sisteme de etching și depunere în plasmă cu o experienta de peste 30 de ani.
Ofera produse și procese inovatoare pentru industrie si R&D.

Mai multe informatii...

 

Gama de sisteme CORIAL are la baza:
- Plasma etch cu tehnologie - RIE, ICP-RIE, DRIE
- Plasma enhanced deposition cu tehnologie - ICP-CVD, PECVD
- Atomic layer proccesing cu tehnologie - ALE, ALD

 

 

HARDWARE:
CORIAL 200 SERIES - Systems for R&D and Small Production
CORIAL 300 SERIES - Systems for 24/7 production environment
CORIAL 500 SERIES - Very large area batch system
CORIAL PS SERIES - Modular cluster based platform

 

SOFTWARE:

COSMA - Process control software
COSMA Pulse - Control software for time multiplexed processes
COSMA RS - Reprocessing Software