Sisteme de Depunere si Etching


HISTERESIS este partenerul CORIAL in Romania pentru sisteme etch si depunere filme subtiri. CORIAL este producator  si dezvoltator de echipamente de procesare cu plasma care propune in sistemele oferite urmatoarele procese:

Plasma etch

Formarea de structuri nanometrice dintr-o gama larga de materiale folosind tehnologii RIE, ICP si DRIE.

Plasma enhanced deposition

Crearea unei game largi de filme subțiri cu tehnologii PECVD si ICP-CVD.

Atomic Layer Processing

Tehnologiile  ALE și ALD se bazează pe reacții de suprafață care limitează depunerea sau etching-ul.

CORIAL ofera cele mai versatile, compacte si fiabile sisteme de etching si depunere din domeniu.


Corial